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Evaporation System
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번호
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Evaporator System
• 진공 Chamber 내에 장착된 E-Beam 또는 저항가열용 Boat를 이용하여 증착할 재료를 증발시켜 기판에 증착하는 장비로써, 고진공에서 증착이 가능하여 고순도의 박막이 형성되고 고융점을 포함한 모든 재료가 증착가능한 장비
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