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CVD System
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CVD System
화학 기상증착 방식으로 두 가지 이상의 Gas를 일정한 에너지(열,Plasma, 빛)에 의해 분해 및 화학결합 등의 반응을 일으켜 반응생성물을 기판상에 증착하는 장비로 이온화률이 높고 접착력이 강하며 낮은 저항과 높은 투과율의 제품을 생산하는 장비
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